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無菌潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)室是指將一定空(kong)間范圍內空(kong)氣中的(de)微粒子、有害(hai)空(kong)氣、細菌等(deng)污染物排除，并將室內溫度(du)(du)、潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)度(du)(du)、室內壓(ya)力、氣流(liu)(liu)速度(du)(du)與(yu)氣流(liu)(liu)分布、噪音振(zhen)動(dong)及照明(ming)、靜(jing)電控制在某一需(xu)求范圍內，而所給予設計的(de)房間。亦(yi)即(ji)是不論(lun)外在之(zhi)空(kong)氣條件如(ru)何(he)變化(hua)，其(qi)室內均(jun)能俱有維(wei)持原先所設定要求之(zhi)潔(jie)(jie)(jie)凈(jing)(jing)度(du)(du)、溫濕(shi)度(du)(du)及壓(ya)力等(deng)性能之(zhi)特性。
無菌潔(jie)凈室(shi)主(zhu)要(yao)之作(zuo)用在于控(kong)(kong)制(zhi)產(chan)品(pin)(如硅芯片等(deng))所接觸之大(da)氣(qi)的(de)(de)潔(jie)凈度日及溫濕(shi)度，使產(chan)品(pin)能(neng)在一(yi)(yi)個(ge)良好之環境空間中生產(chan)、制(zhi)造，此空間我們稱之為潔(jie)凈室(shi)。按(an)照(zhao)慣例，無塵(chen)(chen)凈化級(ji)別主(zhu)要(yao)是(shi)(shi)根據每立(li)方米空氣(qi)中粒子直徑大(da)于劃分標準(zhun)的(de)(de)粒子數量來規(gui)定。也就是(shi)(shi)說所謂無塵(chen)(chen)并非(fei)沒有一(yi)(yi)點(dian)(dian)灰(hui)塵(chen)(chen)，而(er)是(shi)(shi)控(kong)(kong)制(zhi)在一(yi)(yi)個(ge)非(fei)常微(wei)量的(de)(de)單位上。當然(ran)這個(ge)標準(zhun)中符合灰(hui)塵(chen)(chen)標準(zhun)的(de)(de)顆粒相對于我們常見的(de)(de)灰(hui)塵(chen)(chen)已經是(shi)(shi)小的(de)(de)微(wei)乎其微(wei)，但是(shi)(shi)對于光學構造而(er)言，哪(na)怕是(shi)(shi)一(yi)(yi)點(dian)(dian)點(dian)(dian)的(de)(de)灰(hui)塵(chen)(chen)都會產(chan)生非(fei)常大(da)的(de)(de)負面影響(xiang)，所以在光學構造產(chan)品(pin)的(de)(de)生產(chan)上，無塵(chen)(chen)是(shi)(shi)必(bi)然(ran)的(de)(de)要(yao)求。
每(mei)立方米(mi)將小于(yu)(yu)0.3微(wei)米(mi)粒徑(jing)的(de)(de)微(wei)塵(chen)數量控制在(zai)3500個(ge)以(yi)(yi)下(xia)，就(jiu)達到了國際無(wu)塵(chen)標(biao)準的(de)(de)A級(ji)。芯片(pian)級(ji)生(sheng)產(chan)加工的(de)(de)無(wu)塵(chen)標(biao)準對于(yu)(yu)灰塵(chen)的(de)(de)要(yao)求高(gao)于(yu)(yu)A級(ji)，這(zhe)樣的(de)(de)高(gao)標(biao)主要(yao)被(bei)(bei)應(ying)用在(zai)一些(xie)等級(ji)較高(gao)芯片(pian)生(sheng)產(chan)上。0.5uM及以(yi)(yi)下(xia)的(de)(de)微(wei)塵(chen)數量被(bei)(bei)嚴格(ge)控制在(zai)每(mei)立方英(ying)寸1000個(ge)以(yi)(yi)內，這(zhe)也就(jiu)是(shi)業內俗稱的(de)(de)1K級(ji)別。
空(kong)態:已經建(jian)造完(wan)成并可以投入使用的(de)潔(jie)凈室(設施(shi))。它具備所(suo)有(you)有(you)關的(de)服務(wu)和功(gong)能。但是，在設施(shi)內(nei)沒有(you)操作人員操作的(de)設備。
靜(jing)態:各種功能(neng)完備、設定(ding)安裝(zhuang)妥當，可以按(an)照設定(ding)使(shi)用或正在使(shi)用的潔凈室(設施)，但是設施內沒有操作人(ren)員。
動態:處(chu)于正常使用的潔凈(jing)室，服務功能(neng)完(wan)善(shan)，有設備和人員;如果需要，可從事(shi)正常的工作(zuo)。
單向(xiang)流(liu)(liu)(層流(liu)(liu))潔凈(jing)(jing)室原(yuan)理在潔凈(jing)(jing)室內(nei)，從送(song)風口(kou)到回風口(kou)，氣流(liu)(liu)流(liu)(liu)經途中的斷面(mian)幾(ji)乎沒有什么變化，加上進風靜壓(ya)箱和高效(xiao)過(guo)濾器的均壓(ya)均流(liu)(liu)作用，全室斷面(mian)上的流(liu)(liu)速比(bi)較均勻，而至少在工作區內(nei)流(liu)(liu)線(xian)(xian)單向(xiang)平行(xing)，沒有渦流(liu)(liu)。這也就是(shi)(shi)單向(xiang)流(liu)(liu)潔凈(jing)(jing)室的三大(da)特點。這里的流(liu)(liu)線(xian)(xian)單向(xiang)平行(xing)，是(shi)(shi)指(zhi)時均流(liu)(liu)線(xian)(xian)彼此(ci)平行(xing)，方向(xiang)單一。
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